Горизонтальная система высокотемпературной обработки Centrotherm E-1200
- Под заказ
Отправка с 26 февраля 2026Цену уточняйте
Описание:
Система Centrotherm E-1200 – это гибкая универсальная система высокотемпературной обработки, отвечающая требованиям многономенклатурного мелкосерийного производства. Centrotherm E-1200 отличается высочайшей надежностью, маленькой занимаемой площадью, высокой гибкостью и универсальностью.
|
|
Области применения:
Технологические процессы:
- Диффузия
- BBr3-, B2H6-легирование
- POCL3-легирование
- H2-, N2-отпуск
- "Сухое"/"мокрое" окисление
- Вулканизация
- Активирующий отжиг
- Насыщение кремнием
- Азотирование
- Спекание
Химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD):
- Поликремниевые соединения
- Поликремниевое легирование
- Нитриды кремния
- Оксинитриды
- Поверхностное травление
Плазменное осаждение из газовой фазы (PECVD):
- PECVD-оксидизация
- PECVD-азотирование
- PECVD-оксинитрирование
Технические характеристики системы:
|
Область применения |
полупроводниковое кристальное производство |
|
Размер нагревательной плиты |
150-200 мм |
|
Нагревательная система |
3-х зонная, плоская зона диаметром 300 мм, с равномерностью +/- 0.5С |
|
Рабочие газы |
H2, Ar, O2, N2O, N2, SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2 |
|
Электропитание |
55 кВт, 400В, 80А |
|
Вода для охлаждения |
50-70л в мин. |
|
Сжатый воздух |
600-1000 кПа |
|
Выхлоп |
400 м3/ч |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Centrotherm |
| Страна производитель | Германия |
- Цена: Цену уточняйте
