Установка плазменной обработки March FlexTRACK ™

Описание:

• Возможность легкой интеграции с широким набором приспособлений для различных сфер применения (обработка полупроводниковых пластин, обработка рамок компонентов, и т.п.)
• Высочайшая однородность плазмы с минимальными сроками обработки
• Передовая технологическая гибкость не только для процессов непосредственной плазменной обработки, но и для обработки вторичной и безионной плазмой, что позволяет избегать преждевременной экспозиции светочувствительных элементов
• Лидирующие показатели по производительности и сокращенному времени цикла
• Уникальная конструкция, занимающая минимальное место в рабочем помещении. Доступ ко всем узлам, нуждающимся в обслуживании, обеспечивается через фронтальные панели.

Превосходное качество плазменной обработки и высочайший уровень автоматизации в одной системе

Система FlexTRACK предназначена для плазменной обработки широкого спектра изделий микроэлектроники. Запатентованная конструкция плазменной камеры предоставляет исключительную однородность и повторяемость процесса. Симметричная по трем осям геометрия камеры обеспечивает единообразную обработку всех образцов, а строгий контроль всех параметров процесса – повторяемые результаты.

Универсальная архитектура системы FlexTRACK обеспечивает возможность переналадки под широкий спектр изделий, что позволяет достигать непревзойденной производственной гибкости. Небольшой объем рабочей камеры и патентованная система управления параметрами процесса плазменной обработки обеспечивает короткое время цикла одновременно с высокой степенью автономности производства.

Высокая производительность

Система управления SMART TUNE™

Модернизированная система управления SMART Tune™ предоставляет широкие возможности по управлению плазменными процессами по принципу обратной связи, что позволяет оптимизировать систему плазмогенератора и максимально сократить затраты по времени на настройку и переналадку. Система автоматически выводит плазмогенератор на рабочий режим, компенсирует флуктуации вакуумного давления и температуры в рабочей камере. Максимальную мощность в плазменном контуре FlexTRACK развивает за несколько секунд благодаря усовершенствованному алгоритму, который позволяет непрерывно производить измерения прямой и отраженной мощности внутри контура.

Интуитивный графический интерфейс

Предоставляемый оператору интуитивный графический интерфейс совместно с использованием цветного сенсорного дисплея позволяет максимально упростить процесс программирования установки и переналадки с одного технологического процесса на другой. Неограниченное количество программ, которые можно сохранять как во внутренней памяти, так и на  внешние носители, а также загружать с них, полная поддержка протоколов локальных сетей Ethernet позволяют демонстрировать уникальные возможности по документированию и виртуальному воспроизводству процессов плазменной обработки.

Система FlexTRACK предназначена для обработки широкого диапазона изделий, начиная от рамок микросхем, включая лодочные рамки, ленты, ламинированные ленты и заканчивая полупроводниковыми пластинами. В зависимости от уровня требуемой производительности и требований, связанных с конструкцией обрабатываемых изделий, FlexTRACK может быть оснащена магазинными автоматическими и полуавтоматическими системами загрузки/выгрузки для одиночных или групповых заготовок с поддержкой работы в поточной линий производства микроэлектроники, либо в качестве отдельностоящей позиции.