Установка плазменной обработки March FlexTRAK-WF
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
- Две станции загрузки кассет, минимизирующие время простоя.
- Легко настраиваемый механизм совмещения для работы с пластинами различного размера.
- Надежный в эксплуатации автоматизированный процесс укладки подложек.
- Встроенная система распознавания, обеспечивающая высокую надежность обработки пластин.
- Компактная конструкция, минимизирующая площадь.
- Очистка высокой равномерности и производительности.
Система плазменной обработки FlexTRAK-WF разработана для высокопроизводительной обработки полупроводниковых пластин в открытых кассетах и других плоских подложек диаметром от 3 до 8 дюймов (7,62 – 200 мм).
Область применения
- Обработка пластин на операциях, предшествующих окончательному корпусированию, таких как корпусирование на уровне пластины, флип-чипа или традиционного корпусирования.
- Очистка подложек
- Удаление загрязнений перед изготовлением столбиковых выводов на пластине.
- Удаление органических загрязнений.
- Удаление фтористых и других галогенных загрязнений.
- Удаление металлов и оксида металлов.
- Улучшение адгезии пленок.
- Очистка алюминиевых контактных площадок.
Травление подложки
- Удаление остатков фоторезиста / BCB.
- Формирование слоя диэлектрических слоев.
- Удаление / травление фоторезиста.
- Улучшение адгезии поверхности подложек.
- Удаление излишков припоя и флюса с поверхности пластины.
- Улучшение адгезии золота, столбиковых выводов припоя.
- Снятие напряжения с пластины – для предотвращения поломки.
- Улучшение адгезии поверхности пленок.
- Очистка алюминиевых контактных площадок.
Спецификация
|
Размеры корпуса |
Ш х Г х В – занимаемая площадь |
1094 х 1170 х 1700 мм, с открытыми дверями при загрузке пластин 1094 х 1170 х 2185 |
|
Масса нетто |
295 кг (650 фунтов) |
|
|
Площадь очистки подложек |
Справа, слева, с обратной стороны – 153 мм (6 дюймов); лицо – 914 мм (36 дюймов) минимум |
|
|
Рабочая камера |
Габариты |
330 x 330 x 50 мм |
|
Объем |
5,5 литра |
|
|
Различные конфигурации электродов |
Размеры пластин: 150 мм, 200 мм и 300 мм |
|
|
Электроды |
Размеры действующих электродов – рабочая зона |
305 х 305 мм |
|
ВЧ Мощность |
Стандартная Мощность |
600 Вт |
|
Частота |
13,56 МГц |
|
|
Контроль газов |
Максимальное количество РРГ |
4 |
|
Управление системой |
Интерфейс |
Управление контроллером (PLC) и ПК с тачскрином |
|
Вакуумный насос |
Сухой вакуумный насос |
16 м куб. фт/мин, переменной частоты |
|
Электропитание |
220 В, 30 А, 50/60 Гц, 1Ø, 12AWG, 3W |
|
|
Вакуумный Источник |
-40 кПа |
|
|
Соблюдение |
Полу S2 / S8 |
Да |
|
Наличие маркировки CE |
Есть |
|
|
Вспомогательное оборудование |
Дополнительное оборудование |
Азотный генератор, генератор водорода (необходимы дополнительные номера для дополнительных аппаратных). Скраббер |
|
Перевозка |
Размеры контейнера |
1397 х 1067 х 2032 мм |
|
Вес брутто |
445 кг |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | March |
| Страна производитель | США |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
