Установка плазменной обработки March FlexTRAK-CD
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
- высокооднородная плазма с большой скоростью обработки;
- удобный и понятный дружественный интерфейс с технологией Touchscreen;
- удачная конструкция корпуса, позволяющая легко проводить техническое обслуживание;
- высокая производительность, малые размеры, низкие производственные расходы.
Отличное качество обработки, малые размеры, высокая производительность.
Система плазменной обработки FlexTRAK-CD спроектирована для высокопроизводительной обработки рамок с выводами, многослойных подложек и других подобных компонентов с производительностью до 10 рамок за цикл.
Запатентованная конструкция плазменной камеры обеспечивает хорошую воспроизводимость процесса.
Установка может работать с большим диапазоном рамок разных размеров, что делает ее невероятно гибкой в использовании. Небольшой размер камеры и оригинальная система управления обеспечивают малое время цикла с автономной работой машины.
Применение
Обработка перед монтажом кристалла, разваркой, герметизацией компаундом.
- Удаление загрязнений и очистка поверхности:
- фтор и другие галогены;
- металлы и их оксиды;
- органические соединения. Травление и обработка поверхности;
- улучшение адгезии кристалла и разварки выводов;
- улучшение адгезии пресс-формы, уменьшение расслоения.
Активация поверхности:
- улучшение адгезии перед монтажом кристаллов.
Особенности
|
Корпус |
Защита от пыли, предохранительная блокировка. Защищенная камера, насос, генератор. Устройство загрузки подложек |
|
Встроенное устройство загрузки |
Высокая пропускная способность, широкий диапазон загружаемых рамок и лент. Возможность установки дополнительных приборов для загрузки рамок и лент других размеров (опционально) |
|
Камера |
Алюминий, покрытый никелем. Размер: 305 x 305 x 50 мм. Контролируемая вакуумная вытяжка Возможность переконфигурировать по желанию заказчика |
|
Мощность |
600 Вт, 13,56 МГц |
|
Контроль газов |
Два расходометра: 100 SCCM, 250 SCCM (возможность установки до 4 расходомеров). Контроль расхода водорода (опционально) |
|
Интерфейс |
Персональный компьютер с сенсорным экраном и дружественным интерфейсом. Возможность сохранения рецептов |
|
Насос |
Безмасляный насос. Возможность изменения частоты для непрерывности процесса |
|
Управление системой |
Automatic Impedance Matching Network Temperature-Compensated Pressure Gauge Advacned PLC Control System |
|
Требования по подключению |
Размеры Ш x Г x В (с сигнальной лампой): 1068 x 1166 x 1950 мм. Питание: однофазная розетка 220В ± 10%, 20 A, 50/60 Гц. Подключения газов: 6 mm (1/4 in.) compression fitting, 0,7-1,4 bar (10-20 PSI) |
|
Безопасность |
Безопасный корпус. Безопасность. Сигнальная лампа. Соответствие всем международным стандартам |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | March |
| Страна производитель | США |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
