Установка электронно-лучевого напыления AP Systems

Рабочая камера

Рабочая камера

Камера SUS с ручным открыванием двери для обслуживания

Смотровое окно с заслонкой

Чистящая крышка (SUS304)

Вакуумная ловушка (SUS304)

Возможность напуска и продува камеры

Заслонка для электронной пушки открывается / закрывается пневматически

Разъем для датчика определения нанесенной толщины покрытия

Вращающийся подложкодержатель

Ферромагнитное уплотнение

Рабочий

подложкодержатель

Рабочая область

3 дюйма x 39 пластин

4 дюйма x 24 пластин

6 дюйма x 9 пластин

Магнитное уплотнение (ферромагнитное)

Вращается с помощью мотора подложкодержатель

Блок нагрева подложек

Тип нагревателей

Инфракрасные ламповые нагреватели

Зона нагрева

4 (четыре) зоны

Максимальная температура

250˚С

Модуль питания электролучевого испарителя

Параметры электропитания электролучевого испарителя

Входное питание

208 В, 50/60 Гц, 50 A

400 В, 50/60 Гц, 30 A

Выходное напряжение

12 кВт при 10 кВ макс.

Регулировка с точностью ±0,5%

Ток луча

0 ~ 1,2 A

Регулируется с точностью±0,5%

Охлаждение

Воздушное охлаждение

Электролучевой источник

Питание

0 ~ максимальной номинальной мощности

Тигель

15 × 6 гнезд

Характеристики луча

Отклонение

270˚С

Диапазон диаметра луча/резкость

От точно овального пучка до размыто продолговатого

Развертывающая

 способность

Продольная и поперечная при работе через контроллер

Поток воды

3,5 галлонов/мин

Заслонка для электролучевого источника

Упругая муфта

Проволока из каптона

Выводы

2 высоковольтных вывода при 12 кВ до 70 A

1 восьмеричный вывод при 600 В до 15 A на вывод

1 двухпроходной вывод для воды 3/8 дюйма. Внешним диаметром

1 поворотный вывод с валом диаметром ¼ дюйма

Проходной разъем проводов электрической развертки

Развертка луча

Формы развертки

Определяются возможностями операционной системы Windows

Управление

Портативный контроллер

Формы луча

Синусоидальная, пилообразная, треугольная, произвольная

Емкость памяти

Шаблон

Модуль плазменной обработки (для предварительной очистки)

ВЧ блок питания

ВЧ генератор

Частота

13,56 МГц

Выходная мощность

600 Вт при импедансе 50О м

Цифровой измеритель ВЧ мощности

ВЧ согласование

Тип управления

Автоматический

Частота

13,56 МГц

ВЧ кабель

Источник тлеющего разряда

Электрод и изоляторы

Блок измерения толщин

Измеритель толщин

Разрешение

±0,028 Гц

Интервал измерения

0,25 с

Толщины и разрешение

0,034Å Оборудования/плотность=100

Рабочая частота

6 МГц

№. процессов

1

№. слоёв

1

№. материалов

9

№. сенсоров

2 стандартно

№. внешних источников

2 стандартно

Расположение осцилляторов

Датчик измерения толщины

Подключение воды

фланец 2,75”CF

Сенсор включает трубки для водяного охлаждения, сигнальный коаксиальный кабель с вакуумным уплотнением, десять кристаллов, устройство монтажа/демонтажа кристаллов и руководство для пользователя

ВАКУУМНЫЙ МОДУЛЬ

Вакуумный насос

Крио насос

Установлен

Скорость откачки

17,500 л/с водяное охлаждение

Безмасляный насос

Скорость откачки

10,333 л/мин

Предельное давление

5×10-7 мм.рт.ст.

Датчик давления

Датчик высокого вакуума

Ионный датчик с горячим катодом

Датчик среднего вакуума

Конвектрон

Набор кабелей

Вакуумные клапаны

Основной клапан

Пневматический запорный клапан

Клапаны насосной линии

Пневматические клапаны

Клапаны грубых линий

Пневматические клапаны

Клапаны мягкой откачки

Пневматические клапаны

Вакуумная линия

SUS линии трубок из нержавеющей стали и гибких трубок

Блок распределения газов

Используемые газы и управление

Рабочий газ

O2

РРГ (для предварительной очистки подложек)

Напуск и продувка

N2

Клапан мягкого и быстрого напуска

Газовые клапаны и газовые линии

Используются пневматические клапаны Swagelok с управлением сжатым воздухом

Трубки из 316 L нержавеющей стали, электрополированные. Все газовые линии соединены VCR коннекторами. Газовая линия для проверки течей (He) 10-8 мм.рт.ст.·л/с.

Блок управления

Система управления

Автоматическое управление с ПК

Промышленный ПК (PENTIUM, LCD монитор17”)

Включает аналоговые и цифровые I/O карты

Специализированное ПО управления процессом

Простой графический интерфейс

Запись данных процесса

Изменение, сохранение, загрузка и запуск рабочих программ

Панель электрического управления

Основной выключатель

Кнопка аварийного выключения

Предохранители

Рама с электроникой

Панель управления параметрами луча

Панель управления электропитанием луча

Панель управления тиглем

Панель управления ВЧ мощностью

Панель управления измерителем толщины

Панель управления вакуумными датчиками

Панель управления подложкодержателем

Датчик положения

Измерение скорости вращения

Счетчик вращения

Привод электропитания

Рама

Системная рама

Рама сделана из стали

Панели покрашены белым и синим цветами

19 дюймовая панель управления

Перемещение с помощью роликов и выравнивание по уровню