Система электронно-лучевого напыления упрощенной конфигурации SemiTEq STE EB48
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система электронно-лучевого напыления упрощенной конфигурации SemiTEq STE EB48
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
- Безмаслянная система откачки на основе ионного насоса;
- Система прогрева рабочей камеры до 150°С;
- Рабочая камера из нержавеющей стали с уплотнениями типа ConFlat;
- Двухпозиционный кварцевый толщиномер;
- Манипулятор подложки с возможностью изменения расстояния подложка-испаритель в пределах 205-400 мм;
- Полуавтоматизированный процесс откачки/вскрытия рабочей камеры посредством цифровых и аналоговых интерфейсов;
- Вращение образцов;
- Возможность установления терморезистивного испарителя.
Установка STE EB48 является специально разработанной системой электронно-лучевого напыления упрощенной конфигурации для проведения стартовых исследовательских работ по выбору и оптимизации многослойных тонкопленочных покрытий, наносимых на полупроводниковые пластины методом электронно-лучевого испарения в высоком или сверхвысоком вакууме. Максимальный диаметр обрабатываемой пластины: 150 мм. По выбору заказчика установка может комплектоваться держателями для установки пластин диаметром 2”, 3”, 100 мм, 150 мм, 3х2” либо образцов произвольной формы.
Конфигурация:
- Однокамерное исполнение с загрузочным боксом инертной атмосферы, предельное давление в камере напыления: <1х10-7 мм рт. ст. В качестве испарителя используется электронно-лучевой испаритель карусельного (либо линейного) типа с мощностью катодного блока 3 кВт и ускоряющим напряжением не более 4 кВ. Емкость ячеек испарителя — 2,2 см3, количество ячеек (по выбору заказчика): от 4 до 5 шт.
- Двухкамерное исполнение со шлюзом быстрой загрузки и системой прогрева рабочей камеры до 150°С, предельное давление в камере напыления: <1х10-8 мм рт. ст. В качестве испарителя используется электронно-лучевой испаритель линейного типа сверхвысоковакуумного исполнения с мощностью катодного блока 3 кВт и ускоряющим напряжением не более 4 кВ. Емкость ячеек испарителя — 2,2 см3, количество ячеек (по выбору заказчика): от 4 до 5 шт.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | SemiTEq |
| Страна производитель | Россия |
- Цена: Цену уточняйте
