Установка магнетронного напыления AP Systems SC-2000 (двустороннее напыление без переворота)

Процессы

Cr, Ti, Cu, или другие

Процессы

Равномерность по толщине

≤ ±3% (по пластине, от пластины к пластине @2,000Å)

Равномерность по толщине

Количество магнетронов

6 шт

Количество магнетронов

Размер пластины (образца)

60 мм* 48 мм

Размер пластины (образца)

Загрузка пластин

100 пластин за процесс (25 подложкодержателей, 4 пластины на каждый)

Загрузка пластин

Источник питания постоянного тока

5 кВт, 2 шт.

Источник питания постоянного тока

Пороговое давление

7×10-7 Торр

Пороговое давление

Измерение расхода газа

Регулятор массового расхода (MFC)

Измерение расхода газа

Контроль давления

Автоматический (контроллер автоматического регулирования давления), пластинчатый дроссельный клапан, баратрон

Контроль давления

Управление

Персональный компьютер

Управление

Типы процессов

Очистка с обеих сторон, нагрев и распыление

Типы процессов

Источник питания

Источник питания постоянного тока

(2 шт., для процесса)

Выходная мощность

5 кВт

Регулировка

Напряжение/ мощность/ ток

Управление

С компьютера, удаленное, вручную

Переключение

3 выходных канала

РЧ источник питания (предварительная очистка)

РЧ генератор

Частота

Выходная мощность

600 Вт

Цифровой РЧ ваттметр

РЧ сеть

Тип управления

Автоматический

Частота

13,56 МГц

РЧ кабель

Вакуум

Вакуумный насос

Криогенный насос

Скорость откачки

Гелиевый компрессор

Датчик температуры

Нагреватель продувочного газа

Безмасляный насос

Скорость откачки

Предельное давление

7 ×10-7 Торр

Измерение давления

Измерение высокого вакуума

Иономер с горячим катодом

Измерение низкого

вакуума

Конвектрон

Индикатор давления и набор кабелей

Контроль давления

APC

(Контроллер автоматического регулирования давления)

Электрический пластинчатый дроссельный клапан (ETV)

Контроллер ETV

Баратрон

Вакуумная заслонка

Основная заслонка

Пневматический вакуумный затвор

Форвакуумный вентиль

Пневматический угловой вентиль

Грубый линейный клапан

Пневматический угловой вентиль

Вакуумная линия

Линия из нержавеющей стали и сильфоновая линия

Авто вакуумная лилия (Auto vent line)

Газы

Регулирование расхода газа

Для процесса

Ar

Регулятор массового расхода (MFC) 1 шт.

O2

Регулятор массового расхода (MFC) 1 шт.

N2

Регулятор массового расхода (MFC) 1 шт. (в зависимости от требований заказчика)

Для продувки и вентилирования

N2

Регулятор потока (Metering valve)

Газовые клапаны и газовая линия

Использует пневматический мембранный вентиль

Регулятор потока для продувки и вентилирования камеры азотом

Трубки из нержавеющей стали (316L), электро-полированные

Все газовые линии свариваются методом автоматической сварки с VCR фитингом

Газовые линии прошли тест на утечку гелия 10-8 Торр·л/сек.

Управление системой

Управление

Автоматическое управление посредством компьютера

Компьютер (PENTIUM, 17” LCD)

Встроенная карточка аналоговых и цифровых входов/выходов

Программное обеспечение

Удобный и дружественный пользовательский интерфейс

Запись технологических данных

Изменение, сохранение, загрузка и запуск рецептов

Стандартный пульт

управления(19” standard control panel)

Электрико-механические панели

Включение/выключение

Аварийный выключатель

Размыкатель

Панель контроллера вакуумметра

Панель индикатора температуры криогенного насоса

Панель источника питания постоянного тока

Панель управления вращением подложкодержателей

Управление температурой нагревателей

Термопара

К-типа (K-type)

Автоматический контроллер температуры (контроль окружающей среды камеры и обратная связь)

Статический выпрямитель тока (SCR unit)

Электрическое управление мощностью