Настольная система вакуумного отжига Arradiance GemStar-A™
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
- Камера, вмещающая пластины диаметром до 200 мм, квадратные подложки со стороной до 200 мм или 3-мерные объекты высотой до 50 мм.
- Настраиваемый рабочий инструмент, позволяющий легко и просто производить загрузку/выгрузку подложек.
- Камера, оснащенная нагреваемыми стенками, которые обеспечивают температуру свыше 500 °С, а также подогреваемой дверцей с температурой нагрева до 300 °С. Поддержание температуры подложки с отклонением не более ± 1 °С.
- Линии подачи газа, обеспечивающие равномерное распределение газа по всей подложке.
- Газовая линия с металлическим уплотнением.
Другие особенности системы:
- Система контроля давления.
- Управляемая пользователем подача газа посредством РРГ.
- Простота использования и обслуживания благодаря модульной конструкции и удобному доступу к основным узлам.
- Возможность работы с микро- и нанопорошками.
- Возможность осуществлять полный контроль над такими параметрами процесса как температура, время, уровень подачи газа, давления, расположения и определения места подложки.
Технические характеристики
|
Максимальные размеры изделий |
Диаметр до 200 мм Высота 50 мм Стандартный держатель диаметром 200 мм |
|
Размеры системы |
820 мм х 640 мм х 310 мм |
|
Вес системы |
67,5 кг |
|
Площадь камеры |
1610 cм2 |
|
Объем камеры |
2130 cм3 |
|
Тепловой контроль реакторной камеры |
Реакторная зона: нагреватель 1800 Вт, до 500 °C ± 1 °C Дверца: нагреватель 300 Вт, до 300 °C ± 1 °C Нагрев до 175 °C занимает не более 15 мин. |
|
Система управления |
ПО GEMFlow™ на базе Windows 7 с удобным пользовательским интерфейсом Импорт/экспорт параметров процесса (рецептов) в формате Excel Встроенный модуль управления через USB |
|
Корпус |
Съемная верхняя панель Заднее размещение подключений Метрологический порт: стандартный вакуумный фланец 2,75 дюйма (типа CF) |
|
Опции |
Насос со скруббером Генератор озона Нанесение покрытий на порошки |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Arradiance |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
