Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510
- Под заказ
Отправка с 26 февраля 2026Цену уточняйте
Описание:
- Минимальные затраты на обслуживания для научно-исследовательских задач и пилотного производства
- Превосходная равномерность распределения температуры и давления
- Высокий выход годных благодаря автоматической системе клиновой компенсации
- Полная совместимость со всеми системами серии EVG500
- Высокая производительность
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510 работает с пластинами до 200мм. Она может быть легко сконфигурирована под научно-исследовательские или производственные задачи. EVG510 обеспечивает полностью автоматический процесс сварки с ручной загрузкой и выгрузкой пластин. Модульная конструкция сварочных камер для 150мм и 200мм пластин обеспечивает совместимость со всеми системами EVG500, так же как с автоматической промышленной системой сварки пластин GEMENI. В дополнение EVG510 приспособлена для работы с наиболее сложными МЭМС применениями, требующими высокого вакуума и его прецизионного контроля.
Поддерживаемые технологии сварки
- Анодная сварка
- Термокомпрессионная сварка (стеклоприпой, эвтектика, металлическая диффузия, сварка с использованием полимерного клея)
- Непосредственная сварка (SDB, SOI)
- Низкотемпературная сварка пластин с предварительно активированной плазмой поверхностью на установке EVG810
- Конфигурация для сварки стеков из 2-х и 3-х пластин
- Контроль температуры, контактного усилия, электрического напряжения и атмосферы
Дополнительные опции для совмещения пластин
- Оснастка для механически совмещённых пластин
- Оснастка для сварки многопластинчатых стеков
- Совместимость с EVG620, EVG6200,
- IQ Aligner, SmartView
Технические характеристики
|
EVG®510 |
EVG®520IS |
EVG®540 |
EVG®560 |
GEMINI |
|||
|
Размер нагревателя=макс. размеру обраб. пластины |
150 мм |
* |
* |
* |
* |
* |
|
|
200 мм |
* |
* |
* |
* |
* |
||
|
300 мм |
|
* |
* |
* |
* |
||
|
Мин. размер обраб. пластины/подложки |
С 150 ммнагревателем |
Одиночные кристаллы |
Одиночные кристаллы |
50 |
50 |
50 |
|
|
С 200 ммнагревателем |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
||
|
С 300 ммнагревателем |
|
|
200 |
200 |
200 |
||
|
Система совмещения и фиксации пластин |
С 150 ммнагревателем |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
SmartView |
|
|
С 200 ммнагревателем |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
SmartView |
||
|
С 300 ммнагревателем |
|
|
IQ, SmartView |
IQ, SmartView |
SmartView |
||
|
Максимальное контактное усилие |
3.5 кН, 7кН, 10кН |
3.5 кН, 7кН, 10кН, 40кН, 60кН |
|||||
|
Максимальная температура |
550оС (650оС опционально) |
550оС (600оС опционально) |
|||||
|
Вакуум |
1*10-3 мБар (стандартно), 1*10-5 мБар (опционально), дополнительные линии подачи газа (опция) |
||||||
|
Электропитание для процесса анодной посадки |
0-2000В/50мА |
||||||
|
Загрузка пластин в камеру |
ручная |
ручная |
3-осный робот |
5-осный робот |
5-осный робот |
||
|
Полная программная совместимость с системой GEMINI |
* |
* |
* |
* |
* |
||
|
Максимальное количество камер сварки пластин |
1 |
2 |
1 |
от 4 до 10 |
от 4 до 10 |
||
|
Область применения |
Опытно-конструкторское производство |
|
|
|
|||
|
|
Мелкосерийное производство |
|
|
||||
|
|
Крупносерийное производство |
||||||
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | EVG |
| Страна производитель | Австрия |
- Цена: Цену уточняйте
