Система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин в растворителях SICONNEX Produce200 Solvent
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин в растворителях SICONNEX Produce200 Solvent
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
- Автоматический ввод-вывод химических веществ
- Новые химические вещества для каждой новой пластины
- Повторяемое управление процессом
- Занимаемая площадь 1 м × 1,6 м
- На 80% меньше воды
- На 80% меньше выбросов
- Герметичная система
Области применения:
- Снятие фоторезиста,
- Удаление полимеров,
- Очистка
Технические особенности:
- Электрополированная рама из нержавеющей стали (EPSS)
- Камера вместимостью в 25 пластин (для 1 партии)
- Камера вместимостью в 50 пластин (для 2 партий)
- 1 рабочий ротор для отдельных подложек (2“-8“)
- До 4 нагреваемых рабочих резервуаров с функциями рециркуляции и восстановления
- Интерфейс системы управления с сенсорным экраном
- Ведение системного журнала и запись рабочих данных
- Интерфейс SECS/GEM
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | SICONNEX |
| Страна производитель | Австрия |
- Цена: Цену уточняйте
