Система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин в кислотах SICONNEX Produce200 AcId
- Под заказ
Отправка с 02 марта 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин в кислотах SICONNEX Produce200 AcId
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
- Автоматический ввод-вывод химических веществ
- 4 химических вещества в рамках одной последовательности
- Повторяемый контроль процесса
- Контур 1 м × 1,6 м
- На 80% меньше воды
- На 80% меньше выбросов
- Герметичная система
Области применения:
- Травление
- Очистка
- Снятие фоторезиста
- SicoOzoneТМ
Технические характеристики:
- Огнестойкая полипропиленовая рама (FRPP)
- Возможность размещения рамы справа или слева (обслуживание с одной из сторон)
- Камера вместимостью в 25 пластин (для 1 партии)
- Камера вместимостью в 50 пластин (для 2 партий)
- 1 рабочий ротор для отдельных подложек (2“-8“)
- До 4 нагреваемых рабочих резервуаров с функциями рециркуляции
- До 4 заливных емкостей с дозирующими насосами
- Оптическая система обнаружения конечной точки
- Интерфейс системы управления с сенсорным экраном
- Ведение системного журнала и запись рабочих данных
- Интерфейс SECS/GEM
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | SICONNEX |
| Страна производитель | Австрия |
- Цена: Цену уточняйте
