nanome|x – 180 кВ рентгеновские установки высокого разрешения, предназначенные для инспекции электронных изделий и компонентов в реальном времени с субмикронной точностью, а также для автоматической рентгеновской инспекции (АРИ). Уникальные и инновационные возможности, а также высочайшая точность позиционирования позволяет использовать данные установки для широчайшего спектра 2D и 3D (микро- и наноКТ) инспекционных задач: проведение НИОКР, анализ дефектов, контроль качества, автоматизированная инспекция печатных плат .
Системы nanome|x могут оснащаться функцией компьютерной томографии. Программное обеспечение x|act (quality|assurance) позволяет добиться 100% обнаружения дефектов. Использование высококонтрастного цифрового детектора DXR250RT (30 кадров в секунду) с активным охлаждением позволяет получать 2D рентгеновские снимки высочайшего качества, а также выполнять томографию всего за 10 секунд.
Сферы применения
- автоматизированная рентгеновская инспекция печатных плат
- контроль качества пайки компонентов
- контроль разварки кристаллов
- обнаружение трещин в проводниках с размером <1 мкм
Ключевые особенности
- мощная микро/нанофокусная трубка открытого типа 180 кВ/20 Вт, обеспечивающая различимость деталей вплоть до 200 нм.
- Высококонтрастный цифровой детектор с активным охлаждением
- высокое увеличение (до 1970 крат в 2D/ до 300 крат в 3D)
- прецизионный манипулятор
- возможность установки опции томографии
Технические характеристики
| № | Параметр | Значение |
| Основная рентгеновская трубка | ||
| 1 | Максимальное напряжение, кВ | 180 |
| 2 | Максимальная мощность, Вт | 20 |
| 3 | Различимость деталей, мкм | ≤ 0.2 |
| 4 | Конструкция | Открытая, с прострельной мишенью |
| Дополнительная рентгеновская трубка | ||
| 5 | Максимальное напряжение, кВ | Дополнительная трубка не устанавливается |
| 6 | Максимальная мощность, Вт | |
| 7 | Конструкция | |
| 8 | Различимость деталей, мкм | |
| Разрешение системы | ||
| 9 | Физическое разрешение детектора, МПикс | 1 |
| 10 | Максимальное разрешение системы, МПикс. | 1 |
| 11 | Размер вокселя, мкм | ≤ 1 |
| Параметры исследуемого образца | ||
| 12 | Максимальные размеры (диаметр х высота), мм | 680 x 635 (2D) 60x60 (Томография) |
| 13 | Максимальный вес образца, кг | 10 (2D) 2 (Томография) |
| Габариты установки | ||
| 14 | ШхГхВ, мм | 1860 x 2020 x 1920 |
| 15 | Вес, кг | 2600 |
| Особенности | ||
| 16 | Манипулятор | 5 степеней свободы: Образец x,y,z,r Детектор: наклон |
| 17 | 2D инспекция | Да |
| 18 | Метрология | - |
| 19 | Линейный детектор | - |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | General Electric |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 13 июня 2026