Установка прецизионного ионного утонения Gatan 695 PIPS II

Описание

Установка прецизионного ионного утонения Gatan 695 PIPS II является результатом глубокой модернизации модели 691 PIPS, на протяжении более чем 20 лет являвшейся стандартом высококачественной подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии в материаловедении.

Gatan Inc. разрабатывает и производит инструменты и продукты для электронной микроскопии более 40 лет. Инструменты Gatan стали признанным стандартом в данной области.

Более 20 лет прецизионная система ионного утонения Model 691 PIPS была стандартом в подготовке образцов для просвечивающей электронной микроскопии. Model 695 PIPS II является результатом развития и глубокого усовершенствования ставшей классикой модели 691 PIPS.

Шлюз Whisperlock ®	Быстрая загрузка и выгрузка образца, с сохранением вакуума в рабочем объеме
Держатель с позиционированием	Возможность выбора участка полировки
Сфокусированные ионные пушки типа Пеннинга	Обеспечивается ионное утонение с малыми энергиями ионного пучка
Изменение ускоряющего напряжения от 100 В до 8 кВ	Возможность проводить ионное травление с малыми энергиями пучка для удаления аморфного слоя.
Охлаждение держателя образца жидким азотом	Позволяет минимизировать или полностью исключить артефакты фазовых переходов в образце.
10'' сенсорный экран	Простой графический интерфейс пользователя, обеспечивающий контроль над всеми параметрами.
Микроскоп с цифровым зумом	Обеспечивает визуальный контроль процесса полировки
Сохранение изображений  в формате Digital Micrograph	Возможность сопоставления светооптических изображений образца и данных ПЭМ и EELS в одном формате.

Интерфейс управления

Model 695 PIPS II управляется цифровым контроллером и оснащен графическим интерфейсом с сенсорным экраном, что позволяет наглядно и просто контролировать все параметры процесса утонения, иметь быстрый доступ к предустановленным режимам, а также создавать собственные профили параметров работы. Это позволяет стандартизировать процесс пробоподготовки и оптимизировать режимы для различных образцов.

Два независимых ионных источника

Ионное утонение осуществляется сфокусированными пучками ионов, генерируемых двумя ионными пушками типа Пеннинга. Ионные пушки имеют независимый наклон (опционально – с моторизованным приводом) и позволяют точно выбрать область и желаемый угол травления.

Улучшенная конструкция ионных пушек

Новая ионная оптика обеспечивает минимальную контаминацию образца при воздействии ионного пучка, обеспечивает оптимальную фокусировку на любых энергиях ионного пучка, что позволяет добиться высокой скорости травления при энергиях менее 500 эВ. Кроме того, новые ионные пушки не требуют частого обслуживания и запасных частей.

Оптимизированная система подачи газа

Скорость подачи рабочего газа к ионным пушкам калибруется производителем для всех значений энергии и может устанавливаться автоматически. В то же время, пользователь может самостоятельно выбрать значения скорости потока рабочего газа исходя из собственных задач.

Универсальные держатели образцов двух типов.

Прибор может быть укомплектован держателями образцов для одностороннего и двустороннего ионного утонения. Во всех случаях, данные держатели обеспечивают ионное утонение при углах наклона пучка к плоскости образца близких к нулю и гарантируют хороший отвод тепла, для предотвращения перегрева образца.

Стереомикроскоп (опция)

Позволяет осуществлять визуальный контроль позиционирования и процесса утонения образца.

Микроскоп с цифровым зумом (опция)

Контроль процесса утонения образца может осуществляться с использованием цифровой камеры, подключенной к внешнему ПК. Программное обеспечение позволяет получать автоматически серии снимков в процессе утонения в формате Digital Micrograph, для последующего сопоставления с данными ПЭМ и EELS. Внешний компьютер также может быть использован для удаленного управления прибором.

Система автоматического прерывания процесса утонения (опция)

Позволяет автоматически останавливать процесс утонения анализируя прозрачность образца для видимого света.

Шлюз Whisperlok ®

Быстрая и эффективная система установки/смены образца без ухудшения вакуума в рабочей камере. Возможность точного позиционирования образца по осям X Y для выбора участка утонения.

Доступные конфигурации прибора:

• Model 695 Basic – Базовая конфигурация Model 695 PIPS II
• Model 695 Plus - Базовая конфигурация Model 695 PIPS II с цифровым микроскопом, внешним ПК и программным обеспечением Digital Micrograph
• Model 695 Cool – Базовая конфигурация Model 695 PIPS II дополненная предустановленным охлаждаемым столиком держателя образцов
• Model 695 Pro – оснащена охлаждаемым столиком держателя образцов, цифровым микроскопом, внешним ПК и программным обеспечением Digital Micrograph
• Model 695 Advantage – имеет моторизованный привод ионных пушек, оснащена охлаждаемым столиком держателя образцов, цифровым микроскопом, внешним ПК и программным обеспечением Digital Micrograph

Вместе с Gatan PIPS II используется следующее оборудование:

• Gatan Model 601 Ultrasonic cutting tool – установка ультразвуковой резки
• Gatan Model 659 Disk Punch – устройство изготовления дисков 3 и 2.3 мм
• Gatan Model 623 Disk Grinder – устройство механического утонения дисков 3 и 2.3 мм
• Gatan Model 656 Dimple Grinder – димплер – гриндер (установка механического прецизионного утонения дисков 3 и 2.3 мм)
• набор для изготовления образцов с поперечным сечением (Cross sectional Kit)

 

Технические характеристики

Ионные источники	Две ионные пушки типа Пеннинга с сфокусированными электродами
Угол травления ионным пучком	От +10 до -10, каждая ионная пушка имеет независимые установки
Энергия ионного пучка	От 100 В до 8 кВ
Плотность тока ионного пучка	10 мА/см2
Настройка ионного пучка	Прецизионная настройка по флуоресцентному экрану
Диаметр ионного пучка	Настраивается путем выбора скорости подачи рабочего газа и ионизирующего напряжения

  Столик образцов

Размер образца	3 мм или 2.3 мм
Держатели образцов	Gatan DuoPost ® для одностороннего и двустороннего ионного утонения двух типов: с клеевым креплением (Glue Type) и зажимом (Clamp Type)  Опционально – графитовый держатель
Вращение образца	1-6 об/мин, отключаемое
Модуляция ионного пучка	Одиночная или двойная, настраиваемая пользователем
Перемешение держателя образца  по осям ХY	+/- 0.5 мм
Визуальный контроль процесса	Бинокулярный микроскоп (опция)  или Цифровой микроскоп с программным обеспечением Digital Micrograph (опция)

 

Вакуумная система

Вакуумная система	Сухая безмасляная. Двуступенчатый диафрагменный насос и турбомолекулярный насос с производительностью 80 л/мин
Рабочее давление в камере	6х10-4 - 8х10-5 Па
Контроль вакуума	Ионизационный с холодным катодом для рабочей камеры.  Полупроводниковый датчик для форвакуумной части системы
Система шлюзования образца	Gatan Whisperlok ® . Скорость загрузки образца – менее 1 минуты

 

Интерфейс пользователя

Стандарт	Сенсорный экран 10 дюймов
Опция	Управление с внешнеого ПК

 

Требования к инсталляции

Габариты прибора	495 мм х 575 мм х 615 мм
Вес	45 кг
Электропитание	220 В / 50 Гц
Энергопотребление	200 Вт в рабочем режиме  100 Вт при отключенных илнных источниках
Рабочий газ	Аргон высокой чистоты (99.998%, ТУ 6-21-12-94)
Давление рабочего газа	1.7 Атм (1.2 МПа)