Автоматическая зондовая станция MPI TS2500

Количество пикселей

2 MP 

Оптическое разрешение 

1296 x 966 

Область обзора

4.8 x 3.6 мм 

Освещенность

кольцевое освещение + коаксиальное 

Количество пикселей

2 MP 

Оптическое разрешение

1296 x 966 

Область обзора

2.4 x 1.8 mm 

Освещенность

кольцевое освещение

Операционная система 

Microsoft Windows 7 

Удаленное взаимодействие 

GBIP и LAN

USB 2.0

4

Кромкоискатель (дополнительно)

поддерживается

Материал

никелированная сталь

Расстояние между держателем и платформой

29 мм

Функциональная возможность

настройка проб-картой и микропозиционерами

Максимальное кол-во микропозиционеров

4 ВЧ микропозиционера

Размер п/п пластины

100, 150, 200 мм (4, 6, 8 дюймов)

Тип кассеты

Semi E1

Вместимость кассеты

2

Время загрузки первой пластины

50 сек

Время замены пластины

20 сек

Функция замены тонкой пластины 

Логический способ подъема тонкой пластины

Поддержка п/п пластины

Традиционная и опускание тонкой пластины на расстояние до 50 мкм

Устройство предварительного совмещения

Оптическое, опорные прорези и фаски

Устройство считывания ID пластины (дополнительно)

оптическое, настройка сверху или снизу

Сканирование пластины

Лазерное сканирование для индексации пластины

150 мм

200 мм

Соединение

коаксиальный BNC (f)

коаксиальный BNC (f)

Диаметр

150 мм с 2 интегр. доп. областями

210 мм с 2 интегр. доп. областями 

Материал

Никелированный алюминий (гладкий, отверстия 0.5 мм)

Никелированный алюминий (гладкий, отверстия 0.5 мм)

Поверхность держателя

Плоская, диаметр отверстий в  центральной части 0.5 мм

Плоская, диаметр отверстий в  центральной части 0.5 мм

Отверстия для подачи вакуума (диаметр)

3, 27, 45, 69, 93, 117, 141 мм

3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194  мм

Включение подачи вакуума

Ручной переключатель между центральными (4) отверстиями, 50, 100, 150 мм (2, 4, 6 дюймов)

Ручной переключатель между центральными (4) отверстиями, 100, 150, 200 mm (4, 6, 8 in)

Поддерживаемые размеры DUT

Единичные DUT размером 4 x 4 мм пластины  50 мм (2 дюйма) до 150 мм (6 юймов)* 

Единичные DUT размером 4 x 4 мм или пластины 100 мм (4 дюйма) до 200 мм (8 дюймов)*

Плоскость поверхности

≤± 5 мкм

≤± 5 мкм

Жесткость

< 15 мкм / 10 N по ребру

< 15 мкм / 10 N по ребру

Штифт подъема

9

13

Количеств 

2 дополнительных держателя

Положение 

на передней стороне основного держателя

Размер подложки (Ш x Д)

максимум 25 x 25 мм (1 x 1 дюйм)

Материал

керамика, материал, поглощающий RF с целью обеспечения точной калибровки

Плоскость поверхности

≤± 5 мкм

Управление

независимое от держателей

20 °C до 200 °C

20 °C до 200 °C

20 °C до 300 °C

Соединение 

Коакс. BNC (f)

Триакс. Кельвин. (f)

Триакс. одиночн. (f)

Способ терморегулировки 

Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель

Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель

Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель

Хладагент

Воздух (обеспечивается заказчиком)

Воздух (обеспечивается заказчиком)

Воздух (обеспечивается заказчиком)

Наименьший шаг выбора температур

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

Разрешение отображения температуры держателя

0.01 °C

0.01 °C

0.01 °C

Функция внешнего сенсорного  устройства отображения

Да

Да

Да

Температурная стабильность

±0.08 °C

±0.08 °C

±0.08 °C

Точность температур

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

Способ управления

DC/PID с низким уровнем шума

DC/PID с низким уровнем шума

DC/PID с низким уровнем шума

Интерфейсы

RS232C

RS232C

RS232C

Покрытие поверхности держателя

Никелированное, перфорированное

Никелированное, перфорированное

Позолоченное, перфорированное

Датчик температур

Pt100 1/3DIN, 4-проводной

Pt100 1/3DIN, 4-проводной

Pt100 1/3DIN, 4- проводной

Температурная однородность

< ±0.5 °C

±0.5 °C

< ±0.5 °C при  20 до 200 °C 

< ±0.5 °C при > 200 °C 

Плоскость поверхности и  
параллельность основания

< ±10 мкм

< ±10 мкм

< ±10 мкм

Скорость нагревания и охлаждения

20 до 200 °C < 15 мин. 

200 to 20 °C < 20 мин

20 до 200 °C < 25 мин. 

200 до 20 °C < 25 мин

20 до 300 °C < 30 мин. 

300 до 20 °C < 30 мин

Электроизоляция коакс. BNC (f)

> 10 T Ω при 25 °C 

> 300 G Ω при 200 °C

нет данных

нет данных 

Утечка @ 10 V 
Кельвин. триаксиальный (f)

нет данных

< 15 fA при 25 °C 

< 30 fA при 200 °C 

< 15 fA при 25 °C 
< 50 fA при 300 °C 

Емкость

< 900 pF

нет данных

нет данных

Максимальное напряжение между верхней поверхностью держателя и заземлением

500 V DC

500 V DC

500 V DC

Длина хода

298 мм x 350 мм (11.7 x 13.7 дюймов)

Разрешение

0.1 мкм

Точность

± 4.0 мкм

Повторяемость

± 2.0 мкм

Длина хода

16 мм (0.6 дюймов) 

Разрешение

0.2 мкм

Повторяемость

± 1.0 мкм

Длина хода

± 5.0° 

Разрешение

0.00125° 

Точность

3.0 мкм (измеряется на кромке держателя пластин размером до 200 мм

Напряжение

110/120/200/230 V AC 50/60 Hz 

Вакуум

< -0.7 бар при 10LPM

Сжатый воздух

4.0 – 6.0 бар при 2LPM

Габариты станции (Ш x Г x В)

1930 x 1460 x 1845 мм (76.0 x 57.5 x 72.6 дюймов)

Масса

900 кг