Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-1200
- Под заказ
Отправка с 22 марта 2026Цену уточняйте
Описание:
Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.
Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.
Оптический профилометр MicroXAM-1200 объединен с младшей моделью MicroXAM-100 принципом действия, однако, является более продвинутым по своим измерительным характеристикам прибором.
Преимущества:
- Доступен широкий выбор объективов с коэффициентом увеличения от 2,5х до 50х, что позволит рассмотреть самые мелкие детали и увидеть макрокартину поверхности одновременно. С помощью четырехпозиционного переключателя коэффициент увеличения может изменяться для обеспечения требуемого масштаба и угла обзора.
- Стандартная видеокамера может быть заменена на цифровую видеокамеру высокого разрешения.
- Предметный столик перемещается с помощью сервопривода. Доступны различные размеры предметных столиков - от 4 до 8 дюймов.
- Мощный пакет программного обеспечения для анализа поверхности MapVue AE обеспечивает сбор, обработку и визуализацию поверхности. С помощью её развитого интерфейса вы сможете наложить на полученное изображение фильтры, соединить несколько изображений в одно, рассчитать широкий спектр марко и микро 2D и 3D параметров.
Технические характеристики:
|
Измерительные характеристики |
|
|
СКО измерений |
0,01 нм (1σ) |
|
Воспроизводимость измерений вертикальной ступеньки |
1 нм или 0,1% (1σ) |
|
Класс точности |
0,1 |
|
Вертикальный диапазон сканирования |
10 мм |
|
Скорость вертикального сканирования |
До 7,2 мкм/с |
|
Площадь обзора |
82х62 мкм – 5,3х4,0 мм |
|
Характеристики оборудования |
|
|
Разрешение видеокамеры |
752х480 для аналоговой видеокамеры 1000х1000 для цифровой видеокамеры (опция) |
|
Диапазоны перемещения предметного столика X-Y |
100х100 мм 150х150 мм 200х200 мм |
|
Диапазон отклонения зонда |
±7° |
|
Привод вращения видеокамеры |
±90°, червячная передача |
|
Персональный компьютер |
Pentium 4, 160 Gb HDD, 1 Gb RAM, CD-RW/DVD ROM, Windows XP Professional OS, 19’’ LCD |
|
Коэффициент увеличения объективов |
50х, 20х, 10х, 5х, 2,5х |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | KLA-Tencor |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
