Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step ® D-120

Описание:

Стилусные профилометры Alpha-Step D-series –  обеспечивают комплексное решение задач инженерного и исследовательского профиля. Серия профилометров D-series разработана с целью удовлетворить разнообразные запросы клиентов посредством выпуска приборов с широким спектром возможностей, интеграцией в них инновационных технологий и повышенной производительностью. Ниже приводится сравнительная характеристика приборов Alpha-Step D-series.

Стилусный профилометр Alpha-Step ® D-120 предоставляет широкий спектр применений для научно-исследовательской деятельности благодаря своим выдающимся характеристикам: диапазон перемещения по вертикали составляет 1.2 мм, суб-ангстремное разрешение сканирования, повторяемость в измерении высоты в 6 ангстрем (или 0,1 % от номинальной высоты), предметный столик радиусом 200 мм с двухкоординатным сервоприводом, а так же многое другое.

Вертикальная ступенька на образце. Исследована с помощью Alpha-Step D-120

Благодаря сервоприводам предметного столика профилометр Alpha-Step ® D-120 позволяет проводить автоматические измерения в различных координатах образца. В качестве дополнительного оборудования для Alpha-Step ® D-120  предлагается камера с зум-объективом и 4-х кратным увеличением для абсолютно точной визуализации образца. Профилометр Alpha-Step ® D-120 является чрезвычайно полезным, как для исследовательских, так и для производственных применений, сочетая в себе выдающиеся характеристики и разумную цену.

Графический интерфейс Alpha-Step ® D-120  является мультидокументным и позволяет отображать данные сканирования одновременно с процессом сканирования, что дает возможность пользователю анализировать данные и одновременно выполнять дополнительные измерения.

Програмное обеспечение Alpha-Step ® D-120  позволяет автоматически расставлять уровни на полученных изображениях, измерять параметры изображений и выводить полученные результаты в удобном виде таблицы пригодной для использования в MS Excel. В интерфейсе Alpha-Step ® D-120  все окна являются независимыми, это означает что и панели управления, и окна вывода данных, и окна сканирования в реальном времени, а так же окна с итоговыми результатами сканирования могут быть размещены в любом месте экрана. Эта особенность делает интерфейс Alpha-Step ® D-120  гибким и мощным инструментом для получения и анализа данных.  

Технические характеристики:

• Длина получаемого изображения 55 мм;
• Диапазон перемещения по вертикали до 1,2 мм;
• Предметный столик радиусом 200 мм с сервоприводами для установки образца (диапазон перемещений 150Х178 мм;
• Контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 10 мг;
• Программное обеспечение совместимо с ОС WindowsXP, Vista, и Windows 7. 

Основными областями применения:

• Исследования текстуры поверхности;
• Напряжение тонких пленок;
• Исследование биологических объектов;
• Микроэлектромеханические системы;
• Характеристика свойств материалов;
• Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности;
• Исследование шероховатости и дефектности поверхности.