Оптический профилометр KLA-Tencor MicroXAM-100

Описание:

Оптические профилометры MicroXAM являются приборами широкого спектра применений. Они используются в таких разнообразных областях исследований как: измерение толщины покрытий, исследований сложных МЭМС и т.д.

Принцип действия оптического профилометра (интерферометра) заключается в том, что свет, излучаемый с источника, отражаясь от исследуемой и опорной поверхностей, образует интерференционную картину, которая затем регистрируется видеокамерой. Затем данные обрабатываются и набор интерфереционных картин преобразуется в карту уровней поверхности высокого разрешения.

Профилометр MicroXAM-100 разработан для исследователей, которые заинтересованы в получении быстрых и повторяемых результатов с помощью инструмента, не обремененного излишними уровнями сложности.

MicroXAM -100 объединяет фазосмещающую технологию интерферометра и оптический микроскоп, что позволяет проводить бесконтактные 3D измерения поверхностной шероховатости с субнанометровым разрешением. Сочетая в себе множество функций, прибор предоставлет пользователю обширные возможности для исследования поверхности. Одной из них является возможность получать трехмерные изображения поверхности высокой четкости для широкого диапазона высот рельефа - как для относительно гладких поверхностей, так и для шероховатых.

Преимущества:

• 3D рендеринг поверхности с возможностью извлечение профиля отдельной линии сканирования;
• Вычисления шероховатости, неровности, толщины покрытий и других геометрических характеристик;
• Простое ориентирование по образцу благодаря интуитивно понятному интерфейсу и наличию видеокамеры;
• Перенос данных из окна измерений без остановки процесса сканирования;
• Опционально доступно программное обеспечение для математического анализа изображений SPIP™
• Интуитивно понятный интерфейс, применяемый в программном обеспечении MicroXAM-100, позволяет пользователю быстро осваивать процедуры измерения и максимально эффективно использовать оборудование.
• Площадка сканирования интерферометра MicroXAM-100 может варьироваться от 100Х100 мкм до 1000Х1000 мм (в зависимости от используемого объектива). 

Диапазон высоты рельефа, который поддается сканированию с применением MicroXAM-100, составляет 250 мкм. Этот предел может быть расширен до 10 мм с применением режима "сшивания" по Z-оси. В этом режиме допускается соединение вместе в матрицу 4х4 изображений для расширения поля сканирования. "Сшивание" происходит с помощью автоматического алгоритма (либо в ручном режиме, где пользователю доступны настройки объединения).

Полный пакет 3D аналитического программного обеспечения для работы MicroXAM-100 с Windows®, Intel процессором и TFT плоским монитором. Аналитический пакет обеспечивает расчет поверхностной шероховатости, волнистости, высоту ступеньки и другие параметры поверхности.

Анализ полученнных данных возможно так же проводить и удаленно, тем самым позволяя проводить непрерывные измерения - повышать производительность измерений.

Технические характеристики:

Дополнительные опции MicroXAM-100:

• Широкий набор объективов с увеличением от 5Х до 50Х;
• Предметный столик размером 100 мм с сервоприводами перемещения по осям X, Y, Z, а так же по углу наклона;
• Программное обеспечение для «сшивания» нескольких изображений в одно для расширения площади обзора. Позволяет соединять изображения в матрицу 4х4. «Сшивание» может быть осуществлено в любой момент времени после измерений и при использований любого из объективов;
• Программное обеспечение для офлайн анализа данных. Позволяет обрабатывать полученные данные на удаленном компьютере. Так же возможно создание программы и очереди обработки полученных данных и загрузка этой программы на компьютер, подключенный к профилометру. 

Основные области применения:

• Исследование  текстуры поверхности;
• Измерение высоты вертикальной ступени поверхности;
• Исследования шероховатости и дефектности поверхности;
• Исследования напряжений в тонких плёнках;
• Биологические исследования;
• Микроэлектромеханические системы;
• 3D визуализация топографии поверхности;
• Материаловедение и технология новых материалов.